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東京精密E-TS-1070B 精度演算誤差

點(diǎn)擊次數(shù):944  更新時(shí)間:2023-04-28

東京精密E-TS-1070B 精度演算誤差方式介紹

1.G1?G2接觸子間放入微動臺。

2.先移動G1接觸子、控制部指示値為行程的一時(shí),(-210~-220μm)固定接觸子。

.然后移動G2接觸子、控制部指示値μ時(shí)固定接觸子。

4.微動臺朝返回方向返回100μ(100μ)、確認(rèn)控制部 指示値。

5.微動臺至進(jìn)給原位置(零位置)、確認(rèn)控制部 指示値0μm〔注1〕。

6.微動臺在進(jìn)給方向進(jìn)給100μm(100μm)、確認(rèn)控制部指示値。

 7.微動臺回到原位置(零位置)、確認(rèn)控制部指示値0μm〔注1〕。

8.0μm→-100μm指示値0μm→+100μm指示値不超過1.5μm。

 9.0μm→-100μm指示値0μm→+100μm指示値的差超過1.5μm時(shí)需再調(diào)整、重復(fù)[1.][8.]的作業(yè)。不超過時(shí)進(jìn)行接下來的檢查。

〔注1〕 微動臺在原位置(零位置)時(shí)、控制部指示値不為0μm時(shí)、需調(diào)整接觸子重復(fù)〔4.〕~〔6.〕的作業(yè)。

 ※ 為減少演算誤差需進(jìn)行絞合線單體感度測量(別紙)。


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